中文版
English 
關於潔淨室
潔淨室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室（shì）或清淨室。潔淨室的主要功能為室內汙染控製（zhì），沒有潔淨室（shì），汙染敏感零件不可能批量生產。在（zài）FED-STD-2裏麵（miàn），潔淨室被定（dìng）義為具備空氣（qì）過濾、分配、優化、構造材料和裝置（zhì）的房間，其中特（tè）定的（de）規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒（lì）濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級別（bié）。潔淨程度和控製（zhì）汙染的持續穩定性，是檢驗（yàn）潔淨室質量的核心（xīn）標準，該標準根據區域環境、淨化程度等因素，分為若幹等級，常用的有國（guó）際標準和國內區域行業標準，一些知名淨化工程公（gōng）司，在通行標準之外，還設有自身執行的（de）高於國際化通行標（biāo）準的淨化指標，淨化能力和環境適（shì）應力遠超國際品牌。
1簡介
潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣（qì）中的（de）微粒子（zǐ）、有害空（kōng）氣（qì）、細菌等之汙染（rǎn）物排除，並（bìng）將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流（liú）速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控（kòng）製在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條（tiáo）件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔淨室最主要之作用在於（yú）控製產品（如（rú）矽（guī）芯片等）所接觸之大氣（qì）的潔（jié）淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境（jìng）空間中生產、製造，此空間我們稱之為潔淨室。按照國際慣例，無塵淨化級別（bié）主要是（shì）根據每立方米空氣中粒子直徑（jìng）大於劃（huá）分標準的粒子數（shù）量來規定。也就是說所謂無（wú）塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標（biāo）準中符（fú）合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經（jīng）是（shì）小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品（pǐn）的生產上，無塵（chén）是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量（liàng）控（kòng）製在3500個以下，就達（dá）到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加工（gōng）的無塵標準對於灰塵的要（yào）求高於A級，這樣的高標主要被應用（yòng）在（zài）一些等級較高（gāo）芯片生產上。0.5uM及以下（xià）的微塵數量被嚴格控製（zhì）在每立方英寸1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
空（kōng）態：已經建造完（wán）成並可（kě）以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有（yǒu）有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作（zuò）的設備。
靜態：各種功能完備、設定安裝妥當，可（kě）以按照（zhào）設定使用或正在使用的潔淨室（shì）（設施），但（dàn）是設施（shī）內沒有操作人員。
動態：處於正常使用的潔淨（jìng）室，服務功能完（wán）善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的工作（zuò）。
單向流（層流）潔淨室原（yuán）理
在潔淨（jìng）室內，從送風口到回風口，氣流流經途中的斷麵幾乎沒有什麽變化，加上進（jìn）風靜壓箱和（hé）高效過濾器的均壓均流作用，全室（shì）斷麵上的流速比較均勻，而至少在工作區內流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向（xiàng）流潔淨室的三大（dà）特（tè）點。這裏的流線單向平行，是指時均流線彼此（cǐ）平行，方向單一。
單向流潔淨室的流態從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔（jié）淨（jìng）室的層流和流體力（lì）學上的層流（liú）是完全不同的概念。因此，層流（liú）潔淨室這個名詞是不貼切的，國外某些標（biāo）準和文章也指出這一（yī）點，例如（rú）英國標準BS-5295就曾把所謂（wèi）層流潔淨室定義為單向流潔（jié）淨室（shì），隻是照顧習慣在（zài）括號中注明為層流。前聯邦德國標準VDl- 2083則用“非紊（wěn）流（liú）的置換流”這一術語，並在（zài）注中指出，層流這一概念隻（zhī）是為了區別早於層流潔淨室出現的紊（亂（luàn））流潔淨室而在當時采（cǎi）用的習慣用語，“層流係統”的確切意思並不是分層流（liú）動，而是紊流的置換流，用本（běn）章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學中，這種流動狀態也可稱平行流或單向流。1977年中（zhōng）國在《空氣潔淨技術措施》中選用了“平行流”這個術語（yǔ），在該術語後（hòu）麵同時也指出習（xí）慣上稱“層流”。
在單向流潔淨室內，幹淨氣流不是一股或幾股，而是（shì）充（chōng）滿全室斷麵，所以這種潔淨室不是靠潔淨氣流對（duì）室內髒空氣（qì）的摻（chān）混稀釋作用，而是靠潔淨氣流推出作用將室內髒空（kōng）氣沿整個斷麵排（pái）至室外，達到淨化室內空氣的目的。所以，前（qián）聯邦德（dé）國有人稱單向流（liú）潔（jié）淨室的氣（qì）流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空（kōng）氣（qì）射流”。幹（gàn）淨空氣就好比一個（gè）空氣活塞（sāi），沿著房（fáng）間（jiān）這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒隻能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵（chén）濃度高的空氣擠壓出房間。
在單向流潔淨室以及單向流淨化設備中，可以（yǐ）發現（xiàn）沿壁的和兩個過濾（lǜ）器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的汙染傳輸到上部再送下來，破壞了上述（shù）“活塞流”的狀態，危害極大。對於（yú）和外界（jiè）有開口相通的局部淨化設備，例如潔淨工作台，這種氣流將引射外界汙染氣流，在設計上一定（dìng）要減小過濾（lǜ）器邊框處所占的（de）無效麵積，更要設法使（shǐ）空間（jiān）的（de）壁麵盡量接近過濾器有效迭風（fēng）截麵。
通過上麵分析，可以認為保證單向流（liú）潔淨（jìng）室特性（高潔淨度和快速自淨恢複（fù）能力）的重要先（xiān）決條件有兩個：①來流（liú）的潔淨度；②來流的活塞流情況；
對於來流的潔淨（jìng）度，對通過高效以上過濾器送風的單向流潔（jié）淨室來說是不成問題的，而對於來（lái）流的（de）“活塞流”情況，則需作進～步分析。
根據流體力學原（yuán）理，來流條件對以（yǐ）後的（de）流動狀況將有（yǒu）直接的重要（yào）影響，送風麵出口氣流也就（jiù）是工作區的來流（liú）。
來流的紊動性大，則將影響後麵的單向流特性；來流未充滿流動截麵，則將影響後麵是否能形成“活塞流”和形成的快（kuài）慢；而來流未充滿（mǎn）流動截麵也（yě）是來流素動的一個因素。所以，在采（cǎi）用高效過濾器的條件下，保證單向流潔淨（jìng）室特性的必要（yào）條件（jiàn）是“活塞流”，而“活塞流”的必（bì）要條件（jiàn）則（zé）是來流充滿流動截麵。但是（shì），對（duì）一間（jiān）房間（jiān）而不是一段管道來說，讓氣流從頭至尾完全充滿流（liú）動截麵也是不現實的。
最初，確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔淨室，但這在（zài）技（jì）術上和經濟上都是不利的（de）。隨著認識的發展，人們又（yòu）指出這種單向流隻是“在有（yǒu）限的領域內全部空氣沿平行流線以等速流動的意思”，並認為（wéi）能極力抑製渦流的發生。通過全空間的清（qīng）潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流（liú）潔淨室。這就是說，不要求在整個房（fáng）間都具有（yǒu）單向平行的流線，均勻的速度（dù），沒有渦（wō）流，而是隻要求單向平行流特（tè）性在這個房間中占支配地位，例如在整個工作區這一層空（kōng）間保證了單向流，這個房間（jiān）就是單向流潔淨室。前（qián）麵介紹過的國內外有關（guān）標準、措施（shī）中關於單向流潔淨室達到（dào）的高潔淨（jìng）度（dù），就是指（zhǐ）在工作區內達到（dào）的潔淨度。因此，密（mì）集（jí）布置（zhì）的流線型散流器頂送和全孔板頂送，也被作為實現垂直單向流的手（shǒu）段（duàn）使用。
亂（luàn）流原（yuán）理
潔淨室按其氣流狀態來區（qū）分，主要分為亂流（非單向（xiàng）流）潔淨（jìng）室、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也（yě）有稱矢流潔淨室的），這一節主要討論亂（luàn）流潔淨室。前麵（miàn）已經指出，不論是哪一種潔淨室，都（dōu）是紊流流態。那為什麽不都叫紊流潔淨室呢？
亂流潔淨室的名稱是借用於日文，但（dàn）是日（rì）文的亂流就（jiù）是紊流的意思，而中國最（zuì）早在（zài）《空氣潔淨技術措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含（hán）義而不同於流體力學上的紊流這（zhè）一專有名詞。國際上習（xí）慣稱這種（zhǒng）潔（jié）淨室為非單向流潔淨室。
所謂亂（luàn）流潔淨室，一般包括以下各（gè）種（zhǒng）送（sòng）風形式：
⑴高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板
⑵流（liú）線型散流器頂進
⑶局部孔板頂送（sòng）
⑷側送（sòng）
具（jù）有這些送風（fēng）形（xíng）式的潔淨室（shì），如以雷諾數判斷，顯然屬於紊流流態，但是如果把（bǎ）它們稱為紊流潔（jié）淨室就不合適。氣流（liú）沿整個頂棚下送，室內速度達到0.25m/s 以上，這種室內的流（liú）動狀態也是紊流，但在後麵就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流（liú）流態，但是就其淨化室內空氣的原理來說，卻是（shì）根本不同的，後（hòu）者屬於單向流或平行（háng）流潔（jié）淨室的淨化原理。所以如果把前者稱（chēng）為紊（wěn）流潔淨室，則後者也應被包（bāo）含進去了。
亂流潔淨室的主要（yào）特點是從來流到出流（從（cóng）送風（fēng）口到回風口）之間氣流的流通截麵是變化的，潔淨室截（jié）麵（miàn）比送（sòng）風口截麵大得多，因（yīn）而不能在全室截麵或者在全（quán）室工作區截麵形成勻速氣流。所（suǒ）以，送風（fēng）口以後的流線彼此有很大或者越來越（yuè）大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼（bǐ）此撞擊（jī），將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔淨室的流態實質是：突變流；非均勻流（liú）。
這比用紊流來描述亂流潔淨室更確切、更（gèng）全麵。紊流主要決定於雷諾數，也就是主要受流速的影響，但（dàn）是如（rú）果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產（chǎn）生上述（shù）各種結果，這就因為它是一個突變流和非（fēi）均勻流。因此這種（zhǒng）情況下不僅有流層（céng）之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有（yǒu）全室範圍內的大的回流、旋（xuán）渦所發生的摻混。
所以，概括地說，亂（luàn）流潔（jié）淨室的作用原理（lǐ）是：當一股幹淨氣流從送風口送入室內時，迅速向（xiàng）四周擴散、混合，同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨氣流（liú）稀釋著室內汙染的空（kōng）氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣衝淡（dàn）了，一（yī）直達（dá）到（dào）平衡。所以氣流擴（kuò）散得越（yuè）快，越均勻（yún），稀釋的效果就越好。所以亂流潔（jié）淨室的（de）原理就是稀（xī）釋作用（yòng）。
2所（suǒ）需（xū）材料
潔（jié）淨室在進行淨化工程施工的時候，需要用到以下設備：
A． 裝飾結構類：
1：潔淨室所需要的淨化設備主要有：風淋室貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風（fēng）口（kǒu）（分為普通高效送風口，一體（tǐ）化高效送（sòng）風口（kǒu），可更換濾網的高效送風口） 泄壓閥 風量調節閥等，潔淨室（shì）做好後有的局部淨化級（jí）別要求特別高，因此我們推薦客戶使用潔（jié）淨工（gōng）作台，潔（jié）淨棚等淨化設備。
2：圍體結構彩鋼板（各種鋁型（xíng）材 槽鋁 T型大梁鋁（lǚ） 角鋁 外（wài）形（xíng）柱（zhù）鋁 外圓片 三維接頭 門堵頭（tóu） 內圓弧線 門料 窗（chuāng）料等） 輔助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白功釘 拉爆鉤等）
B．空調（diào）通風部分：
1.空調通風部分主要材料有空調主機，送回風管，鍍鋅水（shuǐ）管（或者PVC水管） 水塔（tǎ） 閘閥水泵 Y型過（guò）濾器 橡膠軟管 止回閥（fá） 水流開關（guān） 溫度（dù）計 壓力（lì）表 水過濾器 各種管碼
2：通風部分的主要材料（liào）有中效增壓（yā）箱 風閥 風量調節閥 初效防雨百葉 風回百（bǎi）葉 初效過濾器 中（zhōng）效過濾器 高效過濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種（zhǒng）輔材
C． 電器部分（fèn）：
1、空調電（diàn）路
2、淨化設備電路
3、照明電路（lù）
D． 地麵部分：
1、環氧樹脂（zhī）地坪
2、PVC地板
3、高架地板地麵
3所需設備
風淋室
風淋室係（xì）列產品是（shì）一種通（tōng）用性較強的局部（bù）淨化設備，安裝於潔淨室與非潔淨室之間。當人與貨物要進（jìn）入潔淨區時需經風淋室吹淋，其吹出的潔淨空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷（duàn）或減（jiǎn）少塵（chén）源進入潔淨區。風淋室/貨淋室的前後兩道門為電子互鎖，又可起（qǐ）到氣閘的作用（yòng），阻止未淨（jìng）化的空氣進入潔淨區域。
貨淋室
貨淋（lín）室，固名思義，即為貨物（wù）專用的吹（chuī）淋室，又（yòu）稱之為貨淋通道、貨淋門（mén）、廣泛適用於電子，食品、包裝企業的物流通道處，對即將進（jìn）入潔淨車間（jiān）進行操作加工的貨物原材料（liào）及工具（jù）進行（háng）吹淋，達到過濾去（qù）除灰塵粒子，進入（rù）無塵車間的原材料潔淨的效果.因每個企業物流通道的現（xiàn）場尺寸以及需要吹淋的貨物原材料運輸方式大小的（de）不同，故貨淋室沒有統一的標準，全部為非標產品。貨（huò）淋（lín）在（zài）功（gōng）能上既有普通型貨淋室，又有紅外線語音提示型貨淋室，還（hái）有自動移門式貨淋室。
傳遞窗（chuāng）
傳遞窗主要適用於潔（jié）淨區與非潔淨區之間，或潔淨室（shì）與潔淨室之間（jiān）的（de）小貨物傳遞，可有效的減少（shǎo）潔淨室門的開啟次數（shù），把潔淨區的汙（wū）染減少的最低程度。根據使用要求，傳遞（dì）窗箱體表（biǎo）麵可噴塑，內膽可用不鏽鋼，外表美觀。傳（chuán）遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖裝置，可有效的防止低潔淨等級區內的灰塵帶（dài）入（rù）高潔淨區內，是淨化車（chē）間必備佳（jiā）品。
高效送風口
本產品為萬級，十萬級亂流潔淨室新（xīn）建，改建工程淨化空（kōng）調係統終端送（sòng）風裝置。可廣泛應用與電子工業，精密機械（xiè），冶金，化工等工業（yè）及（jí）醫療，製藥，食品等部門的淨（jìng）化（huà）空調係統（tǒng）。本裝置主要由靜（jìng）壓箱，高效過濾器，鋁合金擴散板（bǎn），標準法蘭接口等組成，造型美觀（guān），結構簡單，使用可靠。 本送風口為下裝式，具有在潔淨室內安裝和更換（huàn）過濾器方便的優點，高效過濾器采用機械（xiè）壓緊（jǐn）或液槽密封裝置，確保風口安裝（zhuāng）無泄露，密封可靠，淨化效（xiào）果好，對一般淨化工程均可適（shì）用。
潔淨工作台
無塵車間內的潔淨工作台（tái）可根據產品要求或其他用途的要求，在操（cāo）作台上保持高潔淨度的局部淨化。潔淨工作台可（kě）以在（zài）操作台的局部空（kōng）間形成無菌、無塵的局部淨化，其主要（yào）組成部件有預過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜壓（yā）箱（xiāng）、台麵和配套的電器（qì）元器（qì）件等（děng）。
無塵車間的潔淨工作台的構造要求：台（tái）麵，采用木質塑料貼麵（miàn）貼（tiē）於層壓板上做成台麵，或采用不鏽（xiù）鋼做台麵；箱體，用熱紮（zhā）薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷（lěng）軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內表麵需粘貼消聲（shēng）材料，最大尺寸應以通過一般房門為（wéi）宜；箱體密封，所有（yǒu）縫隙均采用密封膠密封；操（cāo）作區（qū）截麵應盡可（kě）能與空氣（qì）過濾器送風截麵相（xiàng）同，盡量減少盲區；風機、電（diàn）機，選用高壓低噪的小型風機（jī），風機（jī）與箱體的連接采用軟連接，電機及風機均應采（cǎi）取（qǔ）減振措施；燈（dēng）罩，日光燈要盡量設置在燈罩內，燈罩（zhào）內要通過潔淨氣流；預過濾器，須設置預過濾器（qì），容量要大，在使用風量下，初阻力宜小於50Pa；高效過濾（lǜ）器，盡量采用大麵積的過濾器，減少空氣過（guò）濾器的（de）數量，過濾器與（yǔ）框架之間（jiān）的密封應采用封導（dǎo）結合的雙環密（mì）封係統。
FFU風機過濾單元（yuán）
風機過（guò）濾（lǜ）單元（FFU）是一種空氣自淨裝（zhuāng）置，可室內吊頂安（ān）裝或放置（zhì）在支架上，使局部級別達到百（bǎi）級。也可用（yòng）於潔淨室末端送風（fēng）。該產品設有初、高效兩級過濾裝置。風機從頂部將空氣吸入並（bìng）經初、高效過（guò）濾器過濾，過濾後的（de）潔淨空氣在整個出風口送（sòng）出。安裝方式有懸掛式和落地支架兩種。
風（fēng）機從FFU頂部將空氣吸入並經初、高效過濾器過濾，過（guò）濾後的潔淨空氣在整個（gè）出風麵以0.45M/S±20%的風速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔淨度等級的潔淨室、微環（huán）境提供高（gāo）質量的潔淨空氣。在新建潔淨室、潔淨（jìng）廠房式改（gǎi）造翻新中，即可提高潔淨度級別，降低噪音和（hé）振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔淨環（huán）境的理想部件。
層流罩
層流罩一（yī）種可提供（gòng）局部高清潔環境的空氣淨化設備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾器（qì），高（gāo）效空氣過濾器（qì）。阻尼層，燈具等組成，箱（xiāng）體噴塑或采用不鏽鋼材料。該產品即可以（yǐ）懸掛，又可地麵支撐，結構緊湊，使用方便。可以單個使用，也可（kě）多個（gè）聯接組成帶（dài）狀潔淨區域。廣泛用於精密機械，電子，製藥，食品，精細化工（gōng）等部門。
4控管項目
1、能除（chú）去空氣中飄遊之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產生。
3、溫度和濕度之控製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之氣密性。
7、靜電之防製。
8、電磁幹擾預防。
9、安全因素之考（kǎo）慮。
10、節能之考量。
5淨化方法
空氣（qì）淨化方法
1 、整體淨化：可分為層流型和湍流型（xíng）。層流是指空氣由一（yī）側全麵地（dì）以同速流向另一側，使室內（nèi）產生的塵粒或細菌不會向四周擴散而（ér）被平推出室外，而達到好的除（chú）菌效果。
⑴高效過濾除菌技術：空氣潔淨主要靠高效或超高效過濾設備，向特定的環境內輸送潔淨空氣並能保持空氣的潔淨度。過濾（lǜ）潔淨原理：①網截阻留；②篩孔阻（zǔ）留；③靜電吸（xī）引阻留；④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此，過濾潔淨技術是一種綜合作（zuò）用的結果。
⑵濾材（cái）結構：生物潔淨室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材，所用濾材有：玻璃棉製濾材、高級紙漿製（zhì）濾（lǜ）材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。
2 、局部淨化
⑴潔（jié）淨層流罩：潔淨層流罩是醫院局部空氣淨（jìng）化裝置。一般可構成垂（chuí）直層流方式，四周（zhōu）用（yòng）透明（míng）圍幕。整個罩內可保持高潔淨度（萬級至百級（jí））空氣。這種潔淨層（céng）流罩可用於免疫功能低下病人的治療保護，所以也稱無菌病床（chuáng）層流罩。
⑵淨化操作台：采用（yòng）水平或垂直層流方（fāng）式淨化箱體內的空氣，可使操作台內淨化達到很高級別（bié）。
⑶靜電吸附（fù）除菌淨化技術：靜電吸附除菌是利用工業電除塵的原理，在小型化（huà）技術方麵有所創新。①采用細線放電極與（yǔ）蜂巢狀鋁箱收集（jí）極形（xíng）成級線裝（zhuāng）置；②采用鏡象力荷電（diàn）吸（xī）附作用。
目前有一種（zhǒng）三級淨化裝置（zhì），即預過濾 - 高（gāo）效過濾 - 活性炭（tàn）吸附，組合式正離（lí）子靜電吸附（fù）除菌，並采（cǎi）用大風量空（kōng）氣淨化，以保證室內空氣淨（jìng）化次數，較好地解決了醫（yī）院重點部門如手術室、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持（chí）續消毒問題，可使醫院室內空氣的淨化潔淨度達（dá）到 10 萬（wàn）級 ~1 萬級。
⑷負離子淨化技術（shù）：負離子是一種帶負電的化學基團，能發生可（kě）逆性變化，存在時間（jiān）極短，本身並無殺滅（miè）微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中（zhōng）的微粒特別是微生（shēng）物顆粒結合（hé），形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達到淨（jìng）化的目（mù）的（de）。空氣中負離子（zǐ）隻有（yǒu）在具備某些化學性質時，如活性氧離子等，它們才具有侵害（hài）蛋白質的能力從而殺滅微生物，因此負離子對空氣淨化的能力比（bǐ）較有限，對空氣中微（wēi）生物粒（lì）子清除率隻能達到 70%~90%。
6工作方式
亂流式
空氣（qì）由空（kōng）調箱（xiāng）經風管與（yǔ）潔淨室（shì）內之空氣過（guò）濾器（HEPA)進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或（huò）高架地板回風。氣流非直線（xiàn）型運動而呈不規則之亂流或渦流狀（zhuàng）態。此型式適用於潔淨（jìng）室等（děng）級1,000-100,000級。
定（dìng）義（yì）：氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的（de）潔淨室（shì）。
特性：亂流潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別（bié）。換（huàn）氣次數決定（dìng）定義中的淨化（huà）級別（換氣次數越多，淨化級別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設計（jì）換氣次（cì）數開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鍾） （可取15min計算） 10,000級希望不（bú）超過30min（分鍾） （可取（qǔ）25min計算） 100,000級希望不超過40min（分鍾） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小（xiǎo）時 （規（guī）範：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規範：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規範：15次/小時）
優點：構造簡單（dān）、係統建（jiàn）造成本（běn），潔淨室之擴充比較容易，在某些（xiē）特殊用途場所（suǒ），可並用無塵（chén）工（gōng）作台，提高潔淨（jìng）室等級（jí）。
缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染製程（chéng）產品。另外若係統（tǒng）停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往（wǎng）須耗（hào）時（shí）相當長一段（duàn）時間。
層流式
層流式空（kōng）氣氣流運動成一均勻（yún）之直線形，空氣由覆蓋率（lǜ）100%之過（guò）濾器進入（rù）室內，並由高架地板或（huò）兩側隔牆板回風，此型式適用於潔淨室等級需定較高之環境使用（yòng），一般其潔（jié）淨室等級為Class 1~100。其型式（shì）可分為二種：
⑴水平層流（liú）式：水平式空氣自過濾器單方向（xiàng）吹（chuī）出，由對邊牆壁（bì）之回風係統回（huí）風，塵埃隨風向排出室外，一（yī）般在下流側汙染較（jiào）嚴重。
優點：構造簡單，運轉（zhuǎn）後短時間內即可變成穩（wěn）定。
缺點：建造費用比亂流（liú）式（shì）高，室內（nèi）空間不易擴充（chōng）。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以（yǐ）ULPA過濾器覆蓋，空氣由（yóu）上往下吹（chuī），可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員（yuán）所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點：管理容易（yì），運轉開始短時（shí）間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊（diào）架相當（dāng）占空間，維修更換過（guò）濾（lǜ）器較麻煩。
複合式
複合式為將亂流式及層流式予以複（fù）合或並用，可提供局部超（chāo）潔淨之空氣。
⑴潔淨（jìng）隧道（dào）（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾（lǜ）器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝（zhuāng）運轉費用。
此型式需將作業人員之工作區與產品和機器（qì）維修予以隔離，以（yǐ）避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製程（chéng）大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴（kuò）充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動（dòng）生產線包圍並淨化處（chù）理，將潔淨度等級提至100級以（yǐ）上。因產品和作（zuò）業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工（gōng）的自動化生產線（xiàn）為最適宜使用（yòng）。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔淨室（Clean Spot）：將潔淨（jìng）室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨（jìng）度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用（yòng）；潔淨工作（zuò）台、潔淨工（gōng）作棚、潔淨風櫃即屬（shǔ）此類。
潔淨工作（zuò）台：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚：為在亂流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小（xiǎo）空間，采用獨（dú）立之HEPA或ULPA及（jí）空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為（wéi）10~1000級（jí），高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10m2以下，四支支柱並加裝活動輪（lún），可為彈性運用。
7風速控製
潔淨室內的氣流是左右潔淨室性能的重要因素，一般潔（jié）淨室的氣（qì）流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微（wēi）風區域，易受人、機（jī）器等的動作而幹擾趨於混亂、雖（suī）提高風速可抑製此一擾亂之影響而保持（chí）潔淨度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應（yīng）在滿足要求的（de）潔（jié）淨度（dù）水準之時（shí），能以最適（shì）當的（de）風速供應，以達到適當的風速供應以達到（dào）經濟（jì）性效果。
另一方麵欲達到（dào）潔淨室潔淨度之穩（wěn）定效果，均一氣流之保持亦為一重（chóng）要因素，均（jun1）一氣流若無法保持，表（biǎo）示風（fēng）速有異，特別是在壁麵，氣（qì）流會延（yán）著壁麵發（fā）生渦（wō）流作用，此時要實現高潔淨度事（shì）實上很困難。
垂直（zhí）層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出麵的風（fēng）速不可有速度上的（de）差異；（b）地板回風板吸入麵之風速不可有速（sù）度上的差異（yì）。速度過（guò）低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度（dù），氣流（liú）則較均一，一（yī）般潔淨室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影響因（yīn）素
影響潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨（jìng）室組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般（bān）操作台或生產設（shè）備等表麵的氣流分流點，應（yīng）設於潔淨室空間（jiān）與隔牆板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從製程區內部流向作（zuò）業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程（chéng）區前（qián）方，將成為不（bú）當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業（yè）員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作台因而將受到汙染，良率也勢必降低。
潔淨室內的工作桌（zhuō）等障礙物，在相（xiàng）接處均會有渦流現（xiàn）象發生，相對地（dì）在（zài）其附近之潔淨度將會較差（chà），在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之（zhī）選擇是否恰（qià）當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
潔淨室的構成是由下列各項係統所組（zǔ）成（在所組成的係統分（fèn）子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的潔淨室：
⑴天花板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花（huā）板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空（kōng）調係統：包括空氣艙（cāng）、過濾（lǜ）器係統、風車等。
⑶隔牆板（Partitional wall）：包括（kuò）窗戶、門。
⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔淨室之建築主體構造，一般是（shì）用鋼筋或骨（gǔ）水泥（ní），但無論（lùn）是（shì）何種構造，必須滿足如下之（zhī）條件：
●不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
●不易產（chǎn）生（shēng）微塵粒子，且很難附著（zhe）粒子；
●吸濕性（xìng）小；
●為了維（wéi）持（chí）室內之濕度條（tiáo）件，熱絕（jué）緣性要高。
9重要（yào）性
潔淨室的潔淨（jìng）度往往受到氣流的影響，換言之，即（jí）人、機（jī）器隔（gé）間、建築結構（gòu）等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
潔淨室（shì）係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的（de）空氣可說十分（fèn）幹淨。然而潔淨室（shì）內除了（le）人以外，尚有機器等之發（fā）塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速（sù）排出（chū）室外。
10應用領（lǐng）域
工業
以（yǐ）無生命微粒的控製為對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象的汙染，內部一般保持（chí）正壓狀態。它適用於精密機械（xiè）工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（yè）（光盤、膠（jiāo）片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
生物
主要控製有（yǒu）生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對（duì）工作對象的汙（wū）染。又可分（fèn）為：
A、 一般生物潔淨室：主要控製微生物（細菌）對象（xiàng）的汙染（rǎn）。同（tóng）時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受（shòu）各種（zhǒng）滅菌處理的工業潔淨室。例：製藥工業、醫（yī）院（手術室、無菌病房）食品、化（huà）妝品、飲料產（chǎn）品生產、動物（wù）實驗室、理化（huà）檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨（jìng）室（shì）：主要控製工作對象的有生命微粒對（duì）外界和人的汙染。內部要（yào）保持與大氣的負壓（yā）。例：細菌學、生（shēng）物學、潔（jié）淨實驗室、物物工程（chéng）（重組基因、疫苗製備）。
相關知識
11工作（zuò）量
發塵量
潔淨室內的發塵（chén）量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不（bú）流入室內；產品，材料等在運（yùn）送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般極小（xiǎo），可忽略；由（yóu）於金屬半壁（彩鋼夾心（xīn）板）的應用（yòng）來自建（jiàn）築表（biǎo）麵（miàn）的發塵也很少，一般占10%以（yǐ）下，發塵主要來自人，占90%左（zuǒ）右（yòu）。在人的發塵（chén）量上，由於服裝材料和樣（yàng）式的改進（jìn），發塵絕對量（liàng）也不斷減少。
A、材（cái）質：棉質發塵量最大，以下依次為棉、的確（què）良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大（dà）掛式發塵量最大，上下分裝型（xíng）次之，全罩型最少。
C、活動：動（dòng）作（zuò）時的發塵量（liàng）一般達到靜止時間3-7倍。
D、清洗：用溶劑洗滌（dí）的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內維護結構表麵發塵量（liàng），以地麵為準，大約相應8平方米地麵（miàn）時的表麵發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。
發菌量
工作人員產生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮（pí）膚的完（wán）全脫換，人類每分鍾脫落約（yuē）1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發：人（rén）類的頭（tóu）發（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包（bāo）括（kuò）鈉、酶、鹽（yán）、鉀、氯（lǜ）化物及食（shí）品（pǐn）微粒。
4）日常衣物：微粒（lì）、纖維、矽土、纖（xiān）維素、各（gè）種化學品和細菌。
5）人類靜止和坐立每（měi）分鍾將產生10000個大於0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動作時每分（fèn）鍾將產生1000000個大於0.3微米的微粒。
7）人類（lèi）以0.9m/s的速度行走時每分鍾將產生5000000個大於0.3微米的微粒（lì）。
分析國（guó）外試驗資料可以認為：
⑴ 潔淨室內當（dāng）工作人（rén）員穿無菌服時（shí）：
靜止（zhǐ）時的發（fā）菌（jun1）量一般為10-300個/min.人
軀體（tǐ）一般活動時的發菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發（fā）菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳嗽一次一般（bān）為（wéi） 70~700個/ min.人
噴嚏（tì）一次一（yī）般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿（chuān）平常衣服時發菌量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩（zhào）發菌量：有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內事例：
⑹ 手術中人員發菌量（liàng） 878個/ min.人
所以，可知潔淨室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不超過300個/ min.人，動態發（fā）菌（jun1）量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據是可行（háng）的。
12執行標準
國內標（biāo）準
⑴.潔淨廠房設計規範 GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建築（zhù）技術規範GB50333-2002
⑶.醫藥工業潔淨廠房設（shè）計規範GB 50457-2008
⑷.傳（chuán）染病醫（yī）院（yuàn）建築設計規範
⑸.醫藥工業潔淨（jìng）室（區（qū））懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手冊
⑺.GMP藥品（pǐn）生（shēng）產質量管理規範
⑻. 潔淨室施工及驗收規範（fàn）GB 5091-2010
際標（biāo）準
ISO係列
⑴ISO14644-1空（kōng）氣潔淨度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相（xiàng）符性（xìng）的測試和監測技術要求（qiú）
⑶ISO14644-3 測試方（fāng）法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔淨（jìng）空氣罩、手套箱、分離器和微循環設（shè）備
⑻ISO14644-8 分（fèn）子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學（xué）品（液體）
IEST係列
潔（jié）淨空氣（qì）：
RP-CC001高效與超高（gāo）效過濾器
RP-CC002單向流（liú）裝置
RP-CC006潔淨室測試RP-CC007超高（gāo）效（xiào）過濾（lǜ）器（qì）測試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021高效與超高效過濾器過濾器介質測（cè）試
RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢（jiǎn）漏
潔（jié）淨室與潔淨環境：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔淨室設計要點
RP-CC016潔淨室非揮發性（xìng）殘留物質的沉（chén）積率
RP-CC018潔淨室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔淨室（shì）與受控環境中的靜電（diàn）
RP-CC023潔（jié）淨室中的（de）微生物
RP-CC024微電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔淨室與受控環境（jìng）中人員與行為
特殊應（yīng）用（yòng）：
RP-CC029使用噴（pēn）漆器要考慮的汙染控製因素
運行保（bǎo）障：
RP-CC003淨室與受控環境（jìng）的服裝係統要點
RP-CC004淨室與受控（kòng）環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受控環境用手套和指套
RP-CC020潔淨室（shì）文件材（cái）料與格式
設（shè）備：
RP-CC002單向流（liú）裝置
RP-CC013設備校準與檢驗程序（xù）
RP-CC015潔淨室（shì）生產設備與輔助設備（bèi）
術語：
RP-CC011汙染（rǎn）控製領域術語和定義
文獻：
RP-CC009汙染控製領域的標準、準則、方法與相關（guān）文件概覽
詳細參數
潔（jié）淨標準與潔淨等級 (ISO 國際標準）
各粒徑檔最大容許粒（lì）子濃度 （顆/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔（jié）淨度應按（àn）下表規定劃分為四個等級。
空氣（qì）潔淨度等（děng）級表
等級
每立方米（每升）空氣中
≥0.5微米塵粒數
每立方米（每升）空氣中
≥5微米塵粒（lì）數
100級
≤35×100(3.5)
1000級（jí）
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：對於空氣潔淨度為100級的潔淨室內大於等於5微米塵粒的計算（suàn）應進行多次采（cǎi）樣。當其多次出現（xiàn）時，方可認為該測試數值是可*的。
13應用範圍
淨化工程是一個（gè）應用行業（yè）非常（cháng）廣泛的基（jī）礎性配套產業，在電子信息（xī）、半導體、光電子、精密（mì）製造、醫藥衛生、生物（wù）工程、航天航空、汽（qì）車噴（pēn）塗等眾（zhòng）多行業（yè）均（jun1）有應用，並根據行業的精密與無塵要（yào）求，等級差別也（yě）較大。
目前級別最（zuì）高的當屬航天航空的航空倉（cāng），基（jī）本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對較（jiào）小。
另外（wài）對級別要求較高的是生物化學實驗室和高精納米（mǐ）材料生產車間，互聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
14八大特點
第一點，采用更適合潔淨室原理的圓弧轉角；
第二點，係統自動控製運行，雙門電子互鎖（suǒ），並設有光電感應（yīng）器，單向通道風淋室，從非潔淨區進入，關門後紅外線感應有人就吹淋，吹淋（lín）後入門鎖閉，隻能（néng）從出門走出風淋室；
第三（sān）點（diǎn），整體冷軋鋼板製作，外表麵靜電噴（pēn）塑處（chù）理；
第四點，門、底板、噴嘴均采用不鏽鋼製造，美觀大方；
第（dì）五點，軟鍵觸按式時間繼電（diàn）器，LED顯示及（jí）設置吹淋時（shí）間，範（fàn）圍在10-99s可調，吹（chuī）淋時雙門自動鎖閉（bì）；
第六點，采用初、高效兩級過（guò）濾係統，有隔板高效過濾器，過濾效率為：99.99%，確（què）保淨化級別；
第（dì）七點，風嘴出風口風速高達25m/s以上，吹（chuī）到人體上風速18m/s以上；
第（dì）八（bā）點，采用（yòng）EVA密（mì）封材料（liào），密閉性能高。
15人員規範
為了避免和減少潔淨室從業人員對潔淨室造成的汙染。任何潔淨室工作以外的人（rén）員，在與潔淨室工作人員捷星接觸談話時，要（yào）將自己背對過去，因（yīn）為口鼻會向注視的方興散發（fā）汙染。
做到（dào）口鼻不對潔淨室的工作區（qū）。
如果出現咳（ké）嗽或者（zhě）打噴嚏的情況，要做到背對（duì）潔淨（jìng）室的工（gōng）作區用（yòng）手套掩住（zhù），然（rán）後及時更換手套。情況嚴重的者應立即離開潔淨（jìng）室區（qū）域，並向領導報告。
潔淨室內不得放置於潔淨室工（gōng）作無關的（de）物品。潔淨室（shì）工作物品要排放（fàng）有序。
當設備不能正常運轉的（de）時候（hòu），不要私自維修，要向領（lǐng）導報告，等（děng）專業人員對潔淨室進行（háng）維（wéi）修。
另外，由於潔（jié）淨室（shì）對潔（jié）淨度有著（zhe）過高的要求。因此，對潔（jié）淨室的工作人員的身體方麵的狀（zhuàng）況要求是很嚴格的。
患有呼（hū）吸道疾病的人，由於會對潔（jié）淨室的空氣造成汙染，故（gù）不能進入潔淨室工作
患有結膜炎或者（zhě）其（qí）他產生分泌物的病（bìng）症，或者患有（yǒu）皮膚類疾病的人員都是不適合在（zài）潔淨（jìng）室工作的。
另外需要注意的，潔淨室的工作人員要對自己的口腔衛生，保持注意。潔淨室工作人員要定期（qī）的進（jìn）行身體健康（kāng）狀況（kuàng）的（de）檢查
16運（yùn）行節能
●潔淨（jìng）室送風、排風、新風之間應切換自如，如生產停（tíng）止、排風櫃也（yě）應（yīng）停止或減小風量，新（xīn）風也應調小。
●工藝並非絕對要求值班風機運行保護的，應采用提前（qián）開機自淨的辦法。
●潔淨室通風（fēng）機（jī）轉速使其壓頭可以控（kòng）製，不要總處於（yú）最大壓頭或（huò）最大風量運（yùn）行的工況。
●運行應最大（dà）限度地利用室外空（kōng）氣冷卻作用，並在此時增大新風（fēng）比。
●潔淨室應根據室外氣象條件變化，通過自控或手控即能調整設備出力。
●縮小潔淨空間體積，如（rú）潔淨隧道或隧道式潔淨室，根（gēn）據（jù）生產要求把潔淨空間劃（huá）分為潔淨度級別不同（tóng）的工（gōng）藝區、操作區、維修區和通道區。
潔淨室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室（shì）或清淨室。潔淨室的主要功能為室內汙染控製（zhì），沒有潔淨室（shì），汙染敏感零件不可能批量生產。在（zài）FED-STD-2裏麵（miàn），潔淨室被定（dìng）義為具備空氣（qì）過濾、分配、優化、構造材料和裝置（zhì）的房間，其中特（tè）定的（de）規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒（lì）濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級別（bié）。潔淨程度和控製（zhì）汙染的持續穩定性，是檢驗（yàn）潔淨室質量的核心（xīn）標準，該標準根據區域環境、淨化程度等因素，分為若幹等級，常用的有國（guó）際標準和國內區域行業標準，一些知名淨化工程公（gōng）司，在通行標準之外，還設有自身執行的（de）高於國際化通行標（biāo）準的淨化指標，淨化能力和環境適（shì）應力遠超國際品牌。
1簡介
潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣（qì）中的（de）微粒子（zǐ）、有害空（kōng）氣（qì）、細菌等之汙染（rǎn）物排除，並（bìng）將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流（liú）速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控（kòng）製在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條（tiáo）件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔淨室最主要之作用在於（yú）控製產品（如（rú）矽（guī）芯片等）所接觸之大氣（qì）的潔（jié）淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境（jìng）空間中生產、製造，此空間我們稱之為潔淨室。按照國際慣例，無塵淨化級別（bié）主要是（shì）根據每立方米空氣中粒子直徑（jìng）大於劃（huá）分標準的粒子數（shù）量來規定。也就是說所謂無（wú）塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標（biāo）準中符（fú）合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經（jīng）是（shì）小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品（pǐn）的生產上，無塵（chén）是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量（liàng）控（kòng）製在3500個以下，就達（dá）到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加工（gōng）的無塵標準對於灰塵的要（yào）求高於A級，這樣的高標主要被應用（yòng）在（zài）一些等級較高（gāo）芯片生產上。0.5uM及以下（xià）的微塵數量被嚴格控製（zhì）在每立方英寸1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
空（kōng）態：已經建造完（wán）成並可（kě）以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有（yǒu）有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作（zuò）的設備。
靜態：各種功能完備、設定安裝妥當，可（kě）以按照（zhào）設定使用或正在使用的潔淨室（shì）（設施），但（dàn）是設施（shī）內沒有操作人員。
動態：處於正常使用的潔淨（jìng）室，服務功能完（wán）善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的工作（zuò）。
單向流（層流）潔淨室原（yuán）理
在潔淨（jìng）室內，從送風口到回風口，氣流流經途中的斷麵幾乎沒有什麽變化，加上進（jìn）風靜壓箱和（hé）高效過濾器的均壓均流作用，全室（shì）斷麵上的流速比較均勻，而至少在工作區內流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向（xiàng）流潔淨室的三大（dà）特（tè）點。這裏的流線單向平行，是指時均流線彼此（cǐ）平行，方向單一。
單向流潔淨室的流態從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔（jié）淨（jìng）室的層流和流體力（lì）學上的層流（liú）是完全不同的概念。因此，層流（liú）潔淨室這個名詞是不貼切的，國外某些標（biāo）準和文章也指出這一（yī）點，例如（rú）英國標準BS-5295就曾把所謂（wèi）層流潔淨室定義為單向流潔（jié）淨室（shì），隻是照顧習慣在（zài）括號中注明為層流。前聯邦德國標準VDl- 2083則用“非紊（wěn）流（liú）的置換流”這一術語，並在（zài）注中指出，層流這一概念隻（zhī）是為了區別早於層流潔淨室出現的紊（亂（luàn））流潔淨室而在當時采（cǎi）用的習慣用語，“層流係統”的確切意思並不是分層流（liú）動，而是紊流的置換流，用本（běn）章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學中，這種流動狀態也可稱平行流或單向流。1977年中（zhōng）國在《空氣潔淨技術措施》中選用了“平行流”這個術語（yǔ），在該術語後（hòu）麵同時也指出習（xí）慣上稱“層流”。
在單向流潔淨室內，幹淨氣流不是一股或幾股，而是（shì）充（chōng）滿全室斷麵，所以這種潔淨室不是靠潔淨氣流對（duì）室內髒空氣（qì）的摻（chān）混稀釋作用，而是靠潔淨氣流推出作用將室內髒空（kōng）氣沿整個斷麵排（pái）至室外，達到淨化室內空氣的目的。所以，前（qián）聯邦德（dé）國有人稱單向流（liú）潔（jié）淨室的氣（qì）流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空（kōng）氣（qì）射流”。幹（gàn）淨空氣就好比一個（gè）空氣活塞（sāi），沿著房（fáng）間（jiān）這個“氣缸”，向前（下）推進，而使塵粒隻能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵（chén）濃度高的空氣擠壓出房間。
在單向流潔淨室以及單向流淨化設備中，可以（yǐ）發現（xiàn）沿壁的和兩個過濾（lǜ）器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的汙染傳輸到上部再送下來，破壞了上述（shù）“活塞流”的狀態，危害極大。對於（yú）和外界（jiè）有開口相通的局部淨化設備，例如潔淨工作台，這種氣流將引射外界汙染氣流，在設計上一定（dìng）要減小過濾（lǜ）器邊框處所占的（de）無效麵積，更要設法使（shǐ）空間（jiān）的（de）壁麵盡量接近過濾器有效迭風（fēng）截麵。
通過上麵分析，可以認為保證單向流（liú）潔淨（jìng）室特性（高潔淨度和快速自淨恢複（fù）能力）的重要先（xiān）決條件有兩個：①來流（liú）的潔淨度；②來流的活塞流情況；
對於來流的潔淨（jìng）度，對通過高效以上過濾器送風的單向流潔（jié）淨室來說是不成問題的，而對於來（lái）流的（de）“活塞流”情況，則需作進～步分析。
根據流體力學原（yuán）理，來流條件對以（yǐ）後的（de）流動狀況將有（yǒu）直接的重要（yào）影響，送風麵出口氣流也就（jiù）是工作區的來流（liú）。
來流的紊動性大，則將影響後麵的單向流特性；來流未充滿流動截麵，則將影響後麵是否能形成“活塞流”和形成的快（kuài）慢；而來流未充滿（mǎn）流動截麵也（yě）是來流素動的一個因素。所以，在采（cǎi）用高效過濾器的條件下，保證單向流潔淨（jìng）室特性的必要（yào）條件（jiàn）是“活塞流”，而“活塞流”的必（bì）要條件（jiàn）則（zé）是來流充滿流動截麵。但是（shì），對（duì）一間（jiān）房間（jiān）而不是一段管道來說，讓氣流從頭至尾完全充滿流（liú）動截麵也是不現實的。
最初，確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔淨室，但這在（zài）技（jì）術上和經濟上都是不利的（de）。隨著認識的發展，人們又（yòu）指出這種單向流隻是“在有（yǒu）限的領域內全部空氣沿平行流線以等速流動的意思”，並認為（wéi）能極力抑製渦流的發生。通過全空間的清（qīng）潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流（liú）潔淨室。這就是說，不要求在整個房（fáng）間都具有（yǒu）單向平行的流線，均勻的速度（dù），沒有渦（wō）流，而是隻要求單向平行流特（tè）性在這個房間中占支配地位，例如在整個工作區這一層空（kōng）間保證了單向流，這個房間（jiān）就是單向流潔淨室。前（qián）麵介紹過的國內外有關（guān）標準、措施（shī）中關於單向流潔淨室達到（dào）的高潔淨（jìng）度（dù），就是指（zhǐ）在工作區內達到（dào）的潔淨度。因此，密（mì）集（jí）布置（zhì）的流線型散流器頂送和全孔板頂送，也被作為實現垂直單向流的手（shǒu）段（duàn）使用。
亂（luàn）流原（yuán）理
潔淨室按其氣流狀態來區（qū）分，主要分為亂流（非單向（xiàng）流）潔淨（jìng）室、單向流潔淨室和輻流潔淨室（也（yě）有稱矢流潔淨室的），這一節主要討論亂（luàn）流潔淨室。前麵（miàn）已經指出，不論是哪一種潔淨室，都（dōu）是紊流流態。那為什麽不都叫紊流潔淨室呢？
亂流潔淨室的名稱是借用於日文，但（dàn）是日（rì）文的亂流就（jiù）是紊流的意思，而中國最（zuì）早在（zài）《空氣潔淨技術措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含（hán）義而不同於流體力學上的紊流這（zhè）一專有名詞。國際上習（xí）慣稱這種（zhǒng）潔（jié）淨室為非單向流潔淨室。
所謂亂（luàn）流潔淨室，一般包括以下各（gè）種（zhǒng）送（sòng）風形式：
⑴高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板
⑵流（liú）線型散流器頂進
⑶局部孔板頂送（sòng）
⑷側送（sòng）
具（jù）有這些送風（fēng）形（xíng）式的潔淨室（shì），如以雷諾數判斷，顯然屬於紊流流態，但是如果把（bǎ）它們稱為紊流潔（jié）淨室就不合適。氣流（liú）沿整個頂棚下送，室內速度達到0.25m/s 以上，這種室內的流（liú）動狀態也是紊流，但在後麵就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流（liú）流態，但是就其淨化室內空氣的原理來說，卻是（shì）根本不同的，後（hòu）者屬於單向流或平行（háng）流潔（jié）淨室的淨化原理。所以如果把前者稱（chēng）為紊（wěn）流潔淨室，則後者也應被包（bāo）含進去了。
亂流潔淨室的主要（yào）特點是從來流到出流（從（cóng）送風（fēng）口到回風口）之間氣流的流通截麵是變化的，潔淨室截（jié）麵（miàn）比送（sòng）風口截麵大得多，因（yīn）而不能在全室截麵或者在全（quán）室工作區截麵形成勻速氣流。所（suǒ）以，送風（fēng）口以後的流線彼此有很大或者越來越（yuè）大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼（bǐ）此撞擊（jī），將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔淨室的流態實質是：突變流；非均勻流（liú）。
這比用紊流來描述亂流潔淨室更確切、更（gèng）全麵。紊流主要決定於雷諾數，也就是主要受流速的影響，但（dàn）是如（rú）果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極低，也要產（chǎn）生上述（shù）各種結果，這就因為它是一個突變流和非（fēi）均勻流。因此這種（zhǒng）情況下不僅有流層（céng）之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有（yǒu）全室範圍內的大的回流、旋（xuán）渦所發生的摻混。
所以，概括地說，亂（luàn）流潔（jié）淨室的作用原理（lǐ）是：當一股幹淨氣流從送風口送入室內時，迅速向（xiàng）四周擴散、混合，同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股幹淨氣流（liú）稀釋著室內汙染的空（kōng）氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣衝淡（dàn）了，一（yī）直達（dá）到（dào）平衡。所以氣流擴（kuò）散得越（yuè）快，越均勻（yún），稀釋的效果就越好。所以亂流潔（jié）淨室的（de）原理就是稀（xī）釋作用（yòng）。
2所（suǒ）需（xū）材料
潔（jié）淨室在進行淨化工程施工的時候，需要用到以下設備：
A． 裝飾結構類：
1：潔淨室所需要的淨化設備主要有：風淋室貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風（fēng）口（kǒu）（分為普通高效送風口，一體（tǐ）化高效送（sòng）風口（kǒu），可更換濾網的高效送風口） 泄壓閥 風量調節閥等，潔淨室（shì）做好後有的局部淨化級（jí）別要求特別高，因此我們推薦客戶使用潔（jié）淨工（gōng）作台，潔（jié）淨棚等淨化設備。
2：圍體結構彩鋼板（各種鋁型（xíng）材 槽鋁 T型大梁鋁（lǚ） 角鋁 外（wài）形（xíng）柱（zhù）鋁 外圓片 三維接頭 門堵頭（tóu） 內圓弧線 門料 窗（chuāng）料等） 輔助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白功釘 拉爆鉤等）
B．空調（diào）通風部分：
1.空調通風部分主要材料有空調主機，送回風管，鍍鋅水（shuǐ）管（或者PVC水管） 水塔（tǎ） 閘閥水泵 Y型過（guò）濾器 橡膠軟管 止回閥（fá） 水流開關（guān） 溫度（dù）計 壓力（lì）表 水過濾器 各種管碼
2：通風部分的主要材料（liào）有中效增壓（yā）箱 風閥 風量調節閥 初效防雨百葉 風回百（bǎi）葉 初效過濾器 中（zhōng）效過濾器 高效過濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種（zhǒng）輔材
C． 電器部分（fèn）：
1、空調電（diàn）路
2、淨化設備電路
3、照明電路（lù）
D． 地麵部分：
1、環氧樹脂（zhī）地坪
2、PVC地板
3、高架地板地麵
3所需設備
風淋室
風淋室係（xì）列產品是（shì）一種通（tōng）用性較強的局部（bù）淨化設備，安裝於潔淨室與非潔淨室之間。當人與貨物要進（jìn）入潔淨區時需經風淋室吹淋，其吹出的潔淨空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷（duàn）或減（jiǎn）少塵（chén）源進入潔淨區。風淋室/貨淋室的前後兩道門為電子互鎖，又可起（qǐ）到氣閘的作用（yòng），阻止未淨（jìng）化的空氣進入潔淨區域。
貨淋室
貨淋（lín）室，固名思義，即為貨物（wù）專用的吹（chuī）淋室，又（yòu）稱之為貨淋通道、貨淋門（mén）、廣泛適用於電子，食品、包裝企業的物流通道處，對即將進（jìn）入潔淨車間（jiān）進行操作加工的貨物原材料（liào）及工具（jù）進行（háng）吹淋，達到過濾去（qù）除灰塵粒子，進入（rù）無塵車間的原材料潔淨的效果.因每個企業物流通道的現（xiàn）場尺寸以及需要吹淋的貨物原材料運輸方式大小的（de）不同，故貨淋室沒有統一的標準，全部為非標產品。貨（huò）淋（lín）在（zài）功（gōng）能上既有普通型貨淋室，又有紅外線語音提示型貨淋室，還（hái）有自動移門式貨淋室。
傳遞窗（chuāng）
傳遞窗主要適用於潔（jié）淨區與非潔淨區之間，或潔淨室（shì）與潔淨室之間（jiān）的（de）小貨物傳遞，可有效的減少（shǎo）潔淨室門的開啟次數（shù），把潔淨區的汙（wū）染減少的最低程度。根據使用要求，傳遞（dì）窗箱體表（biǎo）麵可噴塑，內膽可用不鏽鋼，外表美觀。傳（chuán）遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機械連鎖裝置，可有效的防止低潔淨等級區內的灰塵帶（dài）入（rù）高潔淨區內，是淨化車（chē）間必備佳（jiā）品。
高效送風口
本產品為萬級，十萬級亂流潔淨室新（xīn）建，改建工程淨化空（kōng）調係統終端送（sòng）風裝置。可廣泛應用與電子工業，精密機械（xiè），冶金，化工等工業（yè）及（jí）醫療，製藥，食品等部門的淨（jìng）化（huà）空調係統（tǒng）。本裝置主要由靜（jìng）壓箱，高效過濾器，鋁合金擴散板（bǎn），標準法蘭接口等組成，造型美觀（guān），結構簡單，使用可靠。 本送風口為下裝式，具有在潔淨室內安裝和更換（huàn）過濾器方便的優點，高效過濾器采用機械（xiè）壓緊（jǐn）或液槽密封裝置，確保風口安裝（zhuāng）無泄露，密封可靠，淨化效（xiào）果好，對一般淨化工程均可適（shì）用。
潔淨工作台
無塵車間內的潔淨工作台（tái）可根據產品要求或其他用途的要求，在操（cāo）作台上保持高潔淨度的局部淨化。潔淨工作台可（kě）以在（zài）操作台的局部空（kōng）間形成無菌、無塵的局部淨化，其主要（yào）組成部件有預過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜壓（yā）箱（xiāng）、台麵和配套的電器（qì）元器（qì）件等（děng）。
無塵車間的潔淨工作台的構造要求：台（tái）麵，采用木質塑料貼麵（miàn）貼（tiē）於層壓板上做成台麵，或采用不鏽（xiù）鋼做台麵；箱體，用熱紮（zhā）薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷（lěng）軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內表麵需粘貼消聲（shēng）材料，最大尺寸應以通過一般房門為（wéi）宜；箱體密封，所有（yǒu）縫隙均采用密封膠密封；操（cāo）作區（qū）截麵應盡可（kě）能與空氣（qì）過濾器送風截麵相（xiàng）同，盡量減少盲區；風機、電（diàn）機，選用高壓低噪的小型風機（jī），風機（jī）與箱體的連接采用軟連接，電機及風機均應采（cǎi）取（qǔ）減振措施；燈（dēng）罩，日光燈要盡量設置在燈罩內，燈罩（zhào）內要通過潔淨氣流；預過濾器，須設置預過濾器（qì），容量要大，在使用風量下，初阻力宜小於50Pa；高效過濾（lǜ）器，盡量采用大麵積的過濾器，減少空氣過（guò）濾器的（de）數量，過濾器與（yǔ）框架之間（jiān）的密封應采用封導（dǎo）結合的雙環密（mì）封係統。
FFU風機過濾單元（yuán）
風機過（guò）濾（lǜ）單元（FFU）是一種空氣自淨裝（zhuāng）置，可室內吊頂安（ān）裝或放置（zhì）在支架上，使局部級別達到百（bǎi）級。也可用（yòng）於潔淨室末端送風（fēng）。該產品設有初、高效兩級過濾裝置。風機從頂部將空氣吸入並（bìng）經初、高效過（guò）濾器過濾，過濾後的（de）潔淨空氣在整個出風口送（sòng）出。安裝方式有懸掛式和落地支架兩種。
風（fēng）機從FFU頂部將空氣吸入並經初、高效過濾器過濾，過（guò）濾後的潔淨空氣在整個（gè）出風麵以0.45M/S±20%的風速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔淨度等級的潔淨室、微環（huán）境提供高（gāo）質量的潔淨空氣。在新建潔淨室、潔淨（jìng）廠房式改（gǎi）造翻新中，即可提高潔淨度級別，降低噪音和（hé）振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔淨環（huán）境的理想部件。
層流罩
層流罩一（yī）種可提供（gòng）局部高清潔環境的空氣淨化設備。它主要有箱體，風機，初效空氣過濾器（qì），高（gāo）效空氣過濾器（qì）。阻尼層，燈具等組成，箱（xiāng）體噴塑或采用不鏽鋼材料。該產品即可以（yǐ）懸掛，又可地麵支撐，結構緊湊，使用方便。可以單個使用，也可（kě）多個（gè）聯接組成帶（dài）狀潔淨區域。廣泛用於精密機械，電子，製藥，食品，精細化工（gōng）等部門。
4控管項目
1、能除（chú）去空氣中飄遊之微塵粒子。
2、能防止微塵粒子之產生。
3、溫度和濕度之控製。
4、壓力之調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之氣密性。
7、靜電之防製。
8、電磁幹擾預防。
9、安全因素之考（kǎo）慮。
10、節能之考量。
5淨化方法
空氣（qì）淨化方法
1 、整體淨化：可分為層流型和湍流型（xíng）。層流是指空氣由一（yī）側全麵地（dì）以同速流向另一側，使室內（nèi）產生的塵粒或細菌不會向四周擴散而（ér）被平推出室外，而達到好的除（chú）菌效果。
⑴高效過濾除菌技術：空氣潔淨主要靠高效或超高效過濾設備，向特定的環境內輸送潔淨空氣並能保持空氣的潔淨度。過濾（lǜ）潔淨原理：①網截阻留；②篩孔阻（zǔ）留；③靜電吸（xī）引阻留；④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此，過濾潔淨技術是一種綜合作（zuò）用的結果。
⑵濾材（cái）結構：生物潔淨室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材，所用濾材有：玻璃棉製濾材、高級紙漿製（zhì）濾（lǜ）材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。
2 、局部淨化
⑴潔（jié）淨層流罩：潔淨層流罩是醫院局部空氣淨（jìng）化裝置。一般可構成垂（chuí）直層流方式，四周（zhōu）用（yòng）透明（míng）圍幕。整個罩內可保持高潔淨度（萬級至百級（jí））空氣。這種潔淨層（céng）流罩可用於免疫功能低下病人的治療保護，所以也稱無菌病床（chuáng）層流罩。
⑵淨化操作台：采用（yòng）水平或垂直層流方（fāng）式淨化箱體內的空氣，可使操作台內淨化達到很高級別（bié）。
⑶靜電吸附（fù）除菌淨化技術：靜電吸附除菌是利用工業電除塵的原理，在小型化（huà）技術方麵有所創新。①采用細線放電極與（yǔ）蜂巢狀鋁箱收集（jí）極形（xíng）成級線裝（zhuāng）置；②采用鏡象力荷電（diàn）吸（xī）附作用。
目前有一種（zhǒng）三級淨化裝置（zhì），即預過濾 - 高（gāo）效過濾 - 活性炭（tàn）吸附，組合式正離（lí）子靜電吸附（fù）除菌，並采（cǎi）用大風量空（kōng）氣淨化，以保證室內空氣淨（jìng）化次數，較好地解決了醫（yī）院重點部門如手術室、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持（chí）續消毒問題，可使醫院室內空氣的淨化潔淨度達（dá）到 10 萬（wàn）級 ~1 萬級。
⑷負離子淨化技術（shù）：負離子是一種帶負電的化學基團，能發生可（kě）逆性變化，存在時間（jiān）極短，本身並無殺滅（miè）微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中（zhōng）的微粒特別是微生（shēng）物顆粒結合（hé），形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達到淨（jìng）化的目（mù）的（de）。空氣中負離子（zǐ）隻有（yǒu）在具備某些化學性質時，如活性氧離子等，它們才具有侵害（hài）蛋白質的能力從而殺滅微生物，因此負離子對空氣淨化的能力比（bǐ）較有限，對空氣中微（wēi）生物粒（lì）子清除率隻能達到 70%~90%。
6工作方式
亂流式
空氣（qì）由空（kōng）調箱（xiāng）經風管與（yǔ）潔淨室（shì）內之空氣過（guò）濾器（HEPA)進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或（huò）高架地板回風。氣流非直線（xiàn）型運動而呈不規則之亂流或渦流狀（zhuàng）態。此型式適用於潔淨（jìng）室等（děng）級1,000-100,000級。
定（dìng）義（yì）：氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的（de）潔淨室（shì）。
特性：亂流潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別（bié）。換（huàn）氣次數決定（dìng）定義中的淨化（huà）級別（換氣次數越多，淨化級別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設計（jì）換氣次（cì）數開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鍾） （可取15min計算） 10,000級希望不（bú）超過30min（分鍾） （可取（qǔ）25min計算） 100,000級希望不超過40min（分鍾） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小（xiǎo）時 （規（guī）範：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規範：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規範：15次/小時）
優點：構造簡單（dān）、係統建（jiàn）造成本（běn），潔淨室之擴充比較容易，在某些（xiē）特殊用途場所（suǒ），可並用無塵（chén）工（gōng）作台，提高潔淨（jìng）室等級（jí）。
缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染製程（chéng）產品。另外若係統（tǒng）停止運轉再激活，欲達需求之潔淨度，往往（wǎng）須耗（hào）時（shí）相當長一段（duàn）時間。
層流式
層流式空（kōng）氣氣流運動成一均勻（yún）之直線形，空氣由覆蓋率（lǜ）100%之過（guò）濾器進入（rù）室內，並由高架地板或（huò）兩側隔牆板回風，此型式適用於潔淨室等級需定較高之環境使用（yòng），一般其潔（jié）淨室等級為Class 1~100。其型式（shì）可分為二種：
⑴水平層流（liú）式：水平式空氣自過濾器單方向（xiàng）吹（chuī）出，由對邊牆壁（bì）之回風係統回（huí）風，塵埃隨風向排出室外，一（yī）般在下流側汙染較（jiào）嚴重。
優點：構造簡單，運轉（zhuǎn）後短時間內即可變成穩（wěn）定。
缺點：建造費用比亂流（liú）式（shì）高，室內（nèi）空間不易擴充（chōng）。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以（yǐ）ULPA過濾器覆蓋，空氣由（yóu）上往下吹（chuī），可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員（yuán）所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點：管理容易（yì），運轉開始短時（shí）間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊（diào）架相當（dāng）占空間，維修更換過（guò）濾（lǜ）器較麻煩。
複合式
複合式為將亂流式及層流式予以複（fù）合或並用，可提供局部超（chāo）潔淨之空氣。
⑴潔淨（jìng）隧道（dào）（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾（lǜ）器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省安裝（zhuāng）運轉費用。
此型式需將作業人員之工作區與產品和機器（qì）維修予以隔離，以（yǐ）避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI製程（chéng）大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴（kuò）充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動（dòng）生產線包圍並淨化處（chù）理，將潔淨度等級提至100級以（yǐ）上。因產品和作（zuò）業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可節省能源，不需人工（gōng）的自動化生產線（xiàn）為最適宜使用（yòng）。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔淨室（Clean Spot）：將潔淨（jìng）室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨（jìng）度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用（yòng）；潔淨工作（zuò）台、潔淨工（gōng）作棚、潔淨風櫃即屬（shǔ）此類。
潔淨工作（zuò）台：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚：為在亂流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小（xiǎo）空間，采用獨（dú）立之HEPA或ULPA及（jí）空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為（wéi）10~1000級（jí），高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10m2以下，四支支柱並加裝活動輪（lún），可為彈性運用。
7風速控製
潔淨室內的氣流是左右潔淨室性能的重要因素，一般潔（jié）淨室的氣（qì）流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微（wēi）風區域，易受人、機（jī）器等的動作而幹擾趨於混亂、雖（suī）提高風速可抑製此一擾亂之影響而保持（chí）潔淨度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應（yīng）在滿足要求的（de）潔（jié）淨度（dù）水準之時（shí），能以最適（shì）當的（de）風速供應，以達到適當的風速供應以達到（dào）經濟（jì）性效果。
另一方麵欲達到（dào）潔淨室潔淨度之穩（wěn）定效果，均一氣流之保持亦為一重（chóng）要因素，均（jun1）一氣流若無法保持，表（biǎo）示風（fēng）速有異，特別是在壁麵，氣（qì）流會延（yán）著壁麵發（fā）生渦（wō）流作用，此時要實現高潔淨度事（shì）實上很困難。
垂直（zhí）層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出麵的風（fēng）速不可有速度上的（de）差異；（b）地板回風板吸入麵之風速不可有速（sù）度上的差異（yì）。速度過（guò）低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度（dù），氣流（liú）則較均一，一（yī）般潔淨室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
8影響因（yīn）素
影響潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨（jìng）室組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般（bān）操作台或生產設（shè）備等表麵的氣流分流點，應（yīng）設於潔淨室空間（jiān）與隔牆板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從製程區內部流向作（zuò）業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程（chéng）區前（qián）方，將成為不（bú）當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業（yè）員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作台因而將受到汙染，良率也勢必降低。
潔淨室內的工作桌（zhuō）等障礙物，在相（xiàng）接處均會有渦流現（xiàn）象發生，相對地（dì）在（zài）其附近之潔淨度將會較差（chà），在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之（zhī）選擇是否恰（qià）當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
潔淨室的構成是由下列各項係統所組（zǔ）成（在所組成的係統分（fèn）子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的潔淨室：
⑴天花板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花（huā）板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空（kōng）調係統：包括空氣艙（cāng）、過濾（lǜ）器係統、風車等。
⑶隔牆板（Partitional wall）：包括（kuò）窗戶、門。
⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔淨室之建築主體構造，一般是（shì）用鋼筋或骨（gǔ）水泥（ní），但無論（lùn）是（shì）何種構造，必須滿足如下之（zhī）條件：
●不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
●不易產（chǎn）生（shēng）微塵粒子，且很難附著（zhe）粒子；
●吸濕性（xìng）小；
●為了維（wéi）持（chí）室內之濕度條（tiáo）件，熱絕（jué）緣性要高。
9重要（yào）性
潔淨室的潔淨（jìng）度往往受到氣流的影響，換言之，即（jí）人、機（jī）器隔（gé）間、建築結構（gòu）等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
潔淨室（shì）係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的（de）空氣可說十分（fèn）幹淨。然而潔淨室（shì）內除了（le）人以外，尚有機器等之發（fā）塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速（sù）排出（chū）室外。
10應用領（lǐng）域
工業
以（yǐ）無生命微粒的控製為對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象的汙染，內部一般保持（chí）正壓狀態。它適用於精密機械（xiè）工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（yè）（光盤、膠（jiāo）片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
生物
主要控製有（yǒu）生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對（duì）工作對象的汙（wū）染。又可分（fèn）為：
A、 一般生物潔淨室：主要控製微生物（細菌）對象（xiàng）的汙染（rǎn）。同（tóng）時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受（shòu）各種（zhǒng）滅菌處理的工業潔淨室。例：製藥工業、醫（yī）院（手術室、無菌病房）食品、化（huà）妝品、飲料產（chǎn）品生產、動物（wù）實驗室、理化（huà）檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨（jìng）室（shì）：主要控製工作對象的有生命微粒對（duì）外界和人的汙染。內部要（yào）保持與大氣的負壓（yā）。例：細菌學、生（shēng）物學、潔（jié）淨實驗室、物物工程（chéng）（重組基因、疫苗製備）。
相關知識
11工作（zuò）量
發塵量
潔淨室內的發塵（chén）量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不（bú）流入室內；產品，材料等在運（yùn）送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般極小（xiǎo），可忽略；由（yóu）於金屬半壁（彩鋼夾心（xīn）板）的應用（yòng）來自建（jiàn）築表（biǎo）麵（miàn）的發塵也很少，一般占10%以（yǐ）下，發塵主要來自人，占90%左（zuǒ）右（yòu）。在人的發塵（chén）量上，由於服裝材料和樣（yàng）式的改進（jìn），發塵絕對量（liàng）也不斷減少。
A、材（cái）質：棉質發塵量最大，以下依次為棉、的確（què）良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式：大（dà）掛式發塵量最大，上下分裝型（xíng）次之，全罩型最少。
C、活動：動（dòng）作（zuò）時的發塵量（liàng）一般達到靜止時間3-7倍。
D、清洗：用溶劑洗滌（dí）的發塵量降至用一般水清洗的五分之一。
室內維護結構表麵發塵量（liàng），以地麵為準，大約相應8平方米地麵（miàn）時的表麵發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。
發菌量
工作人員產生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮（pí）膚的完（wán）全脫換，人類每分鍾脫落約（yuē）1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發：人（rén）類的頭（tóu）發（直徑約為50~100微米）一直在脫落。
3）口水：包（bāo）括（kuò）鈉、酶、鹽（yán）、鉀、氯（lǜ）化物及食（shí）品（pǐn）微粒。
4）日常衣物：微粒（lì）、纖維、矽土、纖（xiān）維素、各（gè）種化學品和細菌。
5）人類靜止和坐立每（měi）分鍾將產生10000個大於0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做動作時每分（fèn）鍾將產生1000000個大於0.3微米的微粒。
7）人類（lèi）以0.9m/s的速度行走時每分鍾將產生5000000個大於0.3微米的微粒（lì）。
分析國（guó）外試驗資料可以認為：
⑴ 潔淨室內當（dāng）工作人（rén）員穿無菌服時（shí）：
靜止（zhǐ）時的發（fā）菌（jun1）量一般為10-300個/min.人
軀體（tǐ）一般活動時的發菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發（fā）菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳嗽一次一般（bān）為（wéi） 70~700個/ min.人
噴嚏（tì）一次一（yī）般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿（chuān）平常衣服時發菌量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩（zhào）發菌量：有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內事例：
⑹ 手術中人員發菌量（liàng） 878個/ min.人
所以，可知潔淨室內無菌衣人員的靜態發菌量一般不超過300個/ min.人，動態發（fā）菌（jun1）量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據是可行（háng）的。
12執行標準
國內標（biāo）準
⑴.潔淨廠房設計規範 GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手術部建築（zhù）技術規範GB50333-2002
⑶.醫藥工業潔淨廠房設（shè）計規範GB 50457-2008
⑷.傳（chuán）染病醫（yī）院（yuàn）建築設計規範
⑸.醫藥工業潔淨（jìng）室（區（qū））懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手冊
⑺.GMP藥品（pǐn）生（shēng）產質量管理規範
⑻. 潔淨室施工及驗收規範（fàn）GB 5091-2010
際標（biāo）準
ISO係列
⑴ISO14644-1空（kōng）氣潔淨度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相（xiàng）符性（xìng）的測試和監測技術要求（qiú）
⑶ISO14644-3 測試方（fāng）法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔淨（jìng）空氣罩、手套箱、分離器和微循環設（shè）備
⑻ISO14644-8 分（fèn）子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學（xué）品（液體）
IEST係列
潔（jié）淨空氣（qì）：
RP-CC001高效與超高（gāo）效過濾器
RP-CC002單向流（liú）裝置
RP-CC006潔淨室測試RP-CC007超高（gāo）效（xiào）過濾（lǜ）器（qì）測試
RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC021高效與超高效過濾器過濾器介質測（cè）試
RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢（jiǎn）漏
潔（jié）淨室與潔淨環境：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔淨室設計要點
RP-CC016潔淨室非揮發性（xìng）殘留物質的沉（chén）積率
RP-CC018潔淨室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔淨室（shì）與受控環境中的靜電（diàn）
RP-CC023潔（jié）淨室中的（de）微生物
RP-CC024微電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運行
RP-CC027潔淨室與受控環境（jìng）中人員與行為
特殊應（yīng）用（yòng）：
RP-CC029使用噴（pēn）漆器要考慮的汙染控製因素
運行保（bǎo）障：
RP-CC003淨室與受控環境（jìng）的服裝係統要點
RP-CC004淨室與受控（kòng）環境用抹布材料評估
RP-CC005淨室與受控環境用手套和指套
RP-CC020潔淨室（shì）文件材（cái）料與格式
設（shè）備：
RP-CC002單向流（liú）裝置
RP-CC013設備校準與檢驗程序（xù）
RP-CC015潔淨室（shì）生產設備與輔助設備（bèi）
術語：
RP-CC011汙染（rǎn）控製領域術語和定義
文獻：
RP-CC009汙染控製領域的標準、準則、方法與相關（guān）文件概覽
詳細參數
潔（jié）淨標準與潔淨等級 (ISO 國際標準）
各粒徑檔最大容許粒（lì）子濃度 （顆/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔（jié）淨度應按（àn）下表規定劃分為四個等級。
空氣（qì）潔淨度等（děng）級表
等級
每立方米（每升）空氣中
≥0.5微米塵粒數
每立方米（每升）空氣中
≥5微米塵粒（lì）數
100級
≤35×100(3.5)
1000級（jí）
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：對於空氣潔淨度為100級的潔淨室內大於等於5微米塵粒的計算（suàn）應進行多次采（cǎi）樣。當其多次出現（xiàn）時，方可認為該測試數值是可*的。
13應用範圍
淨化工程是一個（gè）應用行業（yè）非常（cháng）廣泛的基（jī）礎性配套產業，在電子信息（xī）、半導體、光電子、精密（mì）製造、醫藥衛生、生物（wù）工程、航天航空、汽（qì）車噴（pēn）塗等眾（zhòng）多行業（yè）均（jun1）有應用，並根據行業的精密與無塵要（yào）求，等級差別也（yě）較大。
目前級別最（zuì）高的當屬航天航空的航空倉（cāng），基（jī）本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對較（jiào）小。
另外（wài）對級別要求較高的是生物化學實驗室和高精納米（mǐ）材料生產車間，互聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。
14八大特點
第一點，采用更適合潔淨室原理的圓弧轉角；
第二點，係統自動控製運行，雙門電子互鎖（suǒ），並設有光電感應（yīng）器，單向通道風淋室，從非潔淨區進入，關門後紅外線感應有人就吹淋，吹淋（lín）後入門鎖閉，隻能（néng）從出門走出風淋室；
第三（sān）點（diǎn），整體冷軋鋼板製作，外表麵靜電噴（pēn）塑處（chù）理；
第四點，門、底板、噴嘴均采用不鏽鋼製造，美觀大方；
第（dì）五點，軟鍵觸按式時間繼電（diàn）器，LED顯示及（jí）設置吹淋時（shí）間，範（fàn）圍在10-99s可調，吹（chuī）淋時雙門自動鎖閉（bì）；
第六點，采用初、高效兩級過（guò）濾係統，有隔板高效過濾器，過濾效率為：99.99%，確（què）保淨化級別；
第（dì）七點，風嘴出風口風速高達25m/s以上，吹（chuī）到人體上風速18m/s以上；
第（dì）八（bā）點，采用（yòng）EVA密（mì）封材料（liào），密閉性能高。
15人員規範
為了避免和減少潔淨室從業人員對潔淨室造成的汙染。任何潔淨室工作以外的人（rén）員，在與潔淨室工作人員捷星接觸談話時，要（yào）將自己背對過去，因（yīn）為口鼻會向注視的方興散發（fā）汙染。
做到（dào）口鼻不對潔淨室的工作區（qū）。
如果出現咳（ké）嗽或者（zhě）打噴嚏的情況，要做到背對（duì）潔淨（jìng）室的工（gōng）作區用（yòng）手套掩住（zhù），然（rán）後及時更換手套。情況嚴重的者應立即離開潔淨（jìng）室區（qū）域，並向領導報告。
潔淨室內不得放置於潔淨室工（gōng）作無關的（de）物品。潔淨室（shì）工作物品要排放（fàng）有序。
當設備不能正常運轉的（de）時候（hòu），不要私自維修，要向領（lǐng）導報告，等（děng）專業人員對潔淨室進行（háng）維（wéi）修。
另外，由於潔（jié）淨室（shì）對潔（jié）淨度有著（zhe）過高的要求。因此，對潔（jié）淨室的工作人員的身體方麵的狀（zhuàng）況要求是很嚴格的。
患有呼（hū）吸道疾病的人，由於會對潔（jié）淨室的空氣造成汙染，故（gù）不能進入潔淨室工作
患有結膜炎或者（zhě）其（qí）他產生分泌物的病（bìng）症，或者患有（yǒu）皮膚類疾病的人員都是不適合在（zài）潔淨（jìng）室工作的。
另外需要注意的，潔淨室的工作人員要對自己的口腔衛生，保持注意。潔淨室工作人員要定期（qī）的進（jìn）行身體健康（kāng）狀況（kuàng）的（de）檢查
16運（yùn）行節能
●潔淨（jìng）室送風、排風、新風之間應切換自如，如生產停（tíng）止、排風櫃也（yě）應（yīng）停止或減小風量，新（xīn）風也應調小。
●工藝並非絕對要求值班風機運行保護的，應采用提前（qián）開機自淨的辦法。
●潔淨室通風（fēng）機（jī）轉速使其壓頭可以控（kòng）製，不要總處於（yú）最大壓頭或（huò）最大風量運（yùn）行的工況。
●運行應最大（dà）限度地利用室外空（kōng）氣冷卻作用，並在此時增大新風（fēng）比。
●潔淨室應根據室外氣象條件變化，通過自控或手控即能調整設備出力。
●縮小潔淨空間體積，如（rú）潔淨隧道或隧道式潔淨室，根（gēn）據（jù）生產要求把潔淨空間劃（huá）分為潔淨度級別不同（tóng）的工（gōng）藝區、操作區、維修區和通道區。
